K. ÇINAR, E. RECEPOĞLU*, H. KARADENİZ* A. ALAÇAKIR* YÜKLÜ PARÇACIK DEMET OPTİĞİ ÇALIŞMALARI İÇİN MİKRODALGA İYON KAYNAĞI TASARIMI VE YAPIMI K. ÇINAR, E. RECEPOĞLU*, H. KARADENİZ* A. ALAÇAKIR* ODTU, Ankara *SANAEM, Ankara 2010, BODRUM

SANAEM AR-GE Bölümü Hızlandırıcı Fiziği Birimi Mikrodalga İyon Kaynakları Yapmış Olduğumuz Sistemin Tanıtımı Mikrodalgayla İndüklenmiş Plazmanın Parametrelerinin Ölçümleri Gelecek Tasarıları

SANAEM AR-GE Bölümü Hızlandırıcı Fiziği Birimi İyon Optiği İçin Hazırlanan Deney Düzeneği

Mikrodalga İyon Kaynakları Teori: Mikrodalga+GazPlazmaYüksek Negatif Voltajiyon Demeti Mikrodalgayla İndüklenmiş Plazma İşlemi:

Yapmış Olduğumuz Sistem

İyon Üretim Ünitesi Mikrodalga, Plazma Tüpü Katı Model Çizimi Çalışma Hali Fotoğrafı Plazmadaki Saçılım

İyon Çıkarma Ünitesi Manyetik Cusp 8 adet düğme tipi neodyum mıknatıstan oluşmakta Her mıknatısın yüzey manyetik alan değeri: 4000 Gauss İçe bakan yüzeylerin Kutup Sıralanışı: N-S-N-S- (silindirik)… Bobin: DC, manyetik alanı plazma simetri ekseni çakışık Yüksek Negatif Voltaj Ünitesi: Max: 50 kV Tampon Konileri: Sistemde farklı vakum alanları ve elektrik alan çizgileri (odaklama zorlaması) oluşturmak için Einzel Lens: İyon demetini, tampon konilerden geçmeden önce demet haline getirmek (düşük enerjiler için – TV tüpü)

Sisteme Genel Bakış Dalga Kılavuzu Plazma Tüpü Faraday Kabı Einzel Lens Bobin

İyon kaynağı Parametrelerinin Ölçülmesi Plazma Ölçümü Anında Çift Langmuir Sondası Plazma Parametreleri Ölçümü: Plazma Elektron sıcaklığı ve yoğunluğu, Çift Langmuir Sondası kullanılarak ölçülmüştür.

İyon kaynağı Parametrelerinin Ölçülmesi Çift Langmuir Sondası Deney Verileri: 1.4mbar basıncında Hidrojen gazı kullanılarak, akım verileri Keithley-2400 Sourcemeter İle alınmıştır. SONUÇ:

İyon kaynağı Parametrelerinin Ölçülmesi Faraday Kap Faraday Kap Diagramı Herhangi bir iyon çıkarma işlemi yapılmadan ve manyetik sıkıştırma uygulamadan mikron akım mertebelerinde iyon akımı ölçülmüştür.

Gelecek Tasarıları Mikrodalga iyon kaynağı kullanılarak düzenli ve daha çok iyon akımı elde etmek İyon çıkarma ünitesini geliştirmek İndüklemeli Plazma İyon Kaynağı Üretmek Elde edilen iyon akımının, dipol ve kuadrapol mıknatıslar kullanarak demet hattında yönlendirilmesini sağlamak

Kaynaklar Handbook of the ion sources, ed. Bernhard Wolf, ISBN 0-8493-2502-1, 1995. N. Sakudo et al. Rev. Sci. Instrum., 49,940, 1978. J. Dazhi et al., Diagnosis of Hydrojen Plasma in a Miniature Penning Ion Source by Double Probes, Plasma Science and Technology, Vol.11 No1, 2009 R H. Huddlestone, S L. Leonard Plasma Diagnostic Techniques. Acedemic pres, New York, 1965. O. Auciello, D L., Flamn, Discharge parameters and chemistry, Plasma Diagnostic Vol.1 1989.

TEŞEKKÜRLER VE BURADA SİZLERLE TANIŞTIĞIM İÇİN ÇOK MEMNUNUM