BİLİM, EĞİTİM ve ETİK DERSİ Fen Fakültesi-Fizik Bölümü LABORATUAR GÜVENLİĞİ BİLİM, EĞİTİM ve ETİK DERSİ Prof. Dr. Seydi DOĞAN Atatürk Üniversitesi Fen Fakültesi-Fizik Bölümü 06.04.2017

Laboratuar Güvenliği Laboratuar Güvenliği Kişisel Koruma Ekipmanları İÇİNDEKİLER Laboratuar Güvenliği Laboratuar Güvenliği Kişisel Koruma Ekipmanları Tehlikeli Malzeme Bilgi Sistemi Kullanılan Bazı Aletler Genel Laboratuar Güvenliği Elektrik güvenliği Cihaz Güvenliği Uyarı-Dikkat Isıtma güvenliği Cam Malzeme Güvenliği İlk yardım Kişisel Koruma Ekipmanları Tehlikeli Malzeme Bilgi Sistemi Kullanılan Bazı Aletler Genel Laboratuar Güvenliği Elektrik güvenliği Cihaz Güvenliği Uyarı-Dikkat Isıtma güvenliği Cam Malzeme Güvenliği İlk yardım 06.04.2017

BAZI KİŞİSEL KORUMA EKİPMANLARI Bazı Kişisel Koruma Ekipmanları Personal Protective Equipment (PPE) gloves Goggles face shields Apron respirator fire extinguisher eye wash and showers first aid kit 06.04.2017

TEHLİKELİ MALZEME BİLGİ SİSTEMİ Çalışılan yerdeki tehlikeli malzeme bilgi sistemi Workplace Hazardous Materials Information System (WHMIS) Oxidizing Compressed Gas Flammable and Combustible Corrosive Radioactive Biohazardous Waste Poisonous and Infectious Dangerously Reactive Toxic Explosive 06.04.2017

KULLANILAN BAZI TOOL ADLARI Tape measure Wrench Flat Head Screwdriver Phillips Screwdriver Bolt Washer Beaker Nut tweezer Petri dishes 06.04.2017

GENEL LABORATUAR GÜVENLİĞİ Başlamadan önce kurallar gözden geçirilmeli (dinlenmeli veya okunmalı) Teknik ve sağlık ile ilgili bilgiler, MSDS’ de yer almalı ve en yakın yerde bulundurulmalı Haftalık eğitim toplantılarına katılmalı ve pratik yapılmalı Öncelikle ne yaptığını, ne gibi potansiyel tehlikelerin sizleri bekleyebileceğini anlamalı 06.04.2017

GENEL LABORATUAR GÜVENLİĞİ Yangın söndürücü ve battaniyesinin, göz yıkama istasyonunun ve ilk yardım kitinin yerini bilmeli Emin değilseniz, kesinlikle sorumlusuna sorulmalı Kimyasal malzemeler ısıtılır veya bir yerlere dökülürken, safety goggles kullanılmalı ve lab. önlüğü (apron) giyilmeli Mümkün ise laboratuarda yalnız çalışılmamalı”” 06.04.2017

GENEL LABORATUAR GÜVENLİĞİ Kaza (dökülme..) durumunda yetkiliye haber verilmeli Lab.da acil durum oluştuğunda, kendi acil eylem planınız yerine, uygun prosedür uygulanmalı. Lab içinde koşulmamalı,şaka yapılmamalı, bir şeyler yenip içilmemeli ve normalin dışında hareket edilmemeli. Kullanılan alanın oldukça düzenli olması ve ergonomik dizaynın (cihazların çalışanların fiziksel ve ruhsal limitlerine uyumu) sağlanması gerekli. 06.04.2017

GENEL LABORATUAR GÜVENLİĞİ GİYİM: Uzun saçlar toplanmalı, ya topuz yapılmalı veya yanmaz bone içine alınmalı. Uzun kollu ve gevşek giyeceklerden sakınılmalı. Ayakkabılar laboratuarda çalışmaya uygun olmalı, sandalet giyilmemeli. Açık topuklu ve burnu açık ayakkabı giyilmemeli 06.04.2017

GENEL LABORATUAR GÜVENLİĞİ Kimyasallardan sona, eller sabun ve su ile yıkanmalı Laboratuarda eller yüze temas ettirilmemeli Birbirleri ile uyuşmayan kimyasallar bir arada bulundurulmamalı ve tümü etiketlenmeli. Lab. içine, chase den sadece gerekli olanlar alınmalı Kimyasalların nerede ve nasıl kullanılacakları bilinmeli Uçucu olup olmadıklarının, gaz ve buharlarının nereye gittikleri bilinmeli 06.04.2017

GENEL LABORATUAR GÜVENLİĞİ Asla, asit ve organikler ile (örneğin cözücüler, solvents) karışım hazırlama Oksitlenmeye ve patlamalara sebep olabilir. Asla, asit ve baz ile karışım hazırlama Aniden hızlı bir ısı oluşmasına ve patlamalara sebep olabilir. Asla, su asit içine dökülmemeli, asit su iç erisine yavaşça dökülmeli Eğer, kimyasal kokusundan belirlenecek ise, kimyasalın buharı buruna doğru yavaşça getirilmeli 06.04.2017

GENEL LABORATUAR GÜVENLİĞİ Asit ve bazlar, wet bench lerde bol su ile atık suya gönderilebilir. Diğer tüm kimyasallar ve çözeltiler atık şişelerine transfer edilmelidir. Atık şişeleri doğru bir şeklide etiketlenilmeli, şişeye ne kadar ve kim tarafından eklenildiği yazılmalı, nereye gittiklerinin bilinmesi Kimyasalların tadı asla test edilmemeli (Lab. da hiçbir şey tadılmamalı) Bilinmeyen kimyasallar asla karıştırılmamalı 06.04.2017

Asla, elektrik kabloları hareket güzergahı içerisinde bırakılmamalı. ELEKTRİK GÜVENLİĞİ Asla, elektrik kabloları hareket güzergahı içerisinde bırakılmamalı. Cihazlar kullanılmadan önce Lab.’ın kuru olduğundan emin olunmalı. Islak eller ile prizlere dokunulmamalı, elektrik çarpmalarına sebep olur. Sizlerin yüksek voltajdan zarar görmenizdense, cihazınızın zarar görmesi tercih sebebidir. 06.04.2017

Cihazlar, uygun elektrik bağlantısı ve gerilimi altında çalıştırılmalı ELEKTRİK GÜVENLİĞİ Cihazlar ile çalışırken, kaza, elektrik çarpması, yangın, patlama gibi potansiyel tehlikelere nelerin sebep olabileceği düşünülmeli ve bu risklerin indirgenmesi sağlanılmalı. Cihazlar, uygun elektrik bağlantısı ve gerilimi altında çalıştırılmalı Voltaj belirtilen sınırlar dışında ve kablolar taşıyamayacak durumda ise, ısınma yangına sebep olabilir. 06.04.2017

Fişlere, kablolara ve prizlere zarar verilmemeli ELEKTRİK GÜVENLİĞİ Fişlere, kablolara ve prizlere zarar verilmemeli Zarar verilmiş şekilde kullanımı, elektrik çarpmalarına, kısa devrelere ve yangınlara sebep olabilir. Bunların tamiri gerekiyorsa, ilgili ile görüşülmeli. Cihaz belli bir süreliğine kullanılmayacaksa, kesinlikle prizden çekilmeli 06.04.2017

Belli bir öğretim üyesi sorumluluğunda olması gerekir. CİHAZ GÜVENLİĞİ Belli bir öğretim üyesi sorumluluğunda olması gerekir. Kullanılmasa bile, periyodik bakımı ihmal edilmemeli. Cihazların fişlerinin mümkün olabildiği kadar prize girmesini sağlanmalı: Fişin tam olarak girmemesi yangına veya elektrik çarpmalarına sebep olabilir Arızalı fiş ve prizleri kullanmayınız. 06.04.2017

Mümkün ise, yerinde ve en kısa zamanda yapılmalı. CİHAZ GÜVENLİĞİ BAKIM-ONARIM: Deneyimli, cihaz konusunda teknik altyapısı iyi olan, dokümanları takip edebilecek ingilizce seviyesine sahip teknik personel tarafından yapılmalı. Mümkün ise, yerinde ve en kısa zamanda yapılmalı. Mümkün ise, teknik elemana, cihazın bulunduğu birimde kadro verilmeli ve o şehirde ikameti sağlanmalı Teknik eleman, takım ruhu içerisinde çalışabilme ve arkadaşlık ilişkileri güçlü olan biri olmalıdır. 06.04.2017

Yüksek voltajın istisnası yoktur. Kesinlikle belirtilmeli. CİHAZ GÜVENLİĞİ Neyin güvenli olduğunu ve neyin de güvenli olmadığını bildiren standart belgeler vardır. Yüksek voltajın istisnası yoktur. Kesinlikle belirtilmeli. Yaklaşık 15 yıldır düşük voltajı da belirtmek zorunluluğu vardır. Voltaj değerleri belirtilmeyen cihaza CE belgesi verilmez. 06.04.2017

Yüksek voltajla çalışmak ölüm yada CİHAZ GÜVENLİĞİ Yüksek voltaj gerektiren cihazlarla çalışırken, güvenlik oldukça önemli bir konu. Dikkatli olunmalı. Yüksek voltajla çalışmak ölüm yada oldukça ciddi yaralanmalarla sonuçlanabilir. Yüksek voltajdan korumak için izolasyon oldukça önemli (ısı, ses, elektriksel izolasyon… gibi ). Örneğin: En basitinden iki cihazın birbiri ile farklı gerilimlerde olmaları sağlanır. 06.04.2017

WARNING-CAUTION Genelde Cihazların üzerinde veya yerine göre kullanım kılavuzlarında iki tane işaret dikkat çeker. Eğer talimatlar, kurallar doğru bir şekilde takip edilmez ise; kaza, ölüm veya ciddi bir şekilde yaralanma ile sonuçlanabiliri ifade eder. WARNING (UYARI-İHTAR) Eğer talimatlar, kurallar doğru bir şekilde takip edilmez ise; kaza, yaralanmalara veya kalıcı hasarlara sebep olabiliri ifade eder. CAUTION (DİKKAT-ÖZEN) 06.04.2017

WARNING (UYARI-İHTAR) Cihazlar asla, ehil olmayan kişiler tarafından tamir ve modifiye edilmemeli ve parçaları sökülmemeli: Zarar görmesine ve anormal bir şekilde çalışmasına sebep olabilirsiniz, Tamiri gerekiyorsa, ilgili ile görüşülmeli. Cihazlar sulu ortamda çalıştırılmamalı ve üzerine su gelmesi önlenmeli: Kısa devre veya elektrik şoku meydana gelebilir. 06.04.2017

WARNING (UYARI-İHTAR) Cihazlar topraklanmalı: Elektronik gürültülerin azalmasını sağlar. Potansiyel elektrik çarpmalarından korur. Otomatik devre koruyucu ve sigortalar kullanılmalı: Elektrik akımının otomatik olarak sınırlandırılmasını yada kesilmesini sağlar. Yangına sebep olabilecek aşırı yüklenmeleri önler. Aşırı yüklendikleri zaman, devreyi keser. Cihazların bakım veya tamiri yapılacaksa, güç kablolarının prizden çekilmesi gerekli. 06.04.2017

CAUTION (DİKKAT-ÖZEN) Cihazların yüksek sıcaklık ve nemli ortamlarda çalıştırılmamasına dikkat edilmeli: Elektrik kaçağına sebep olabilir, ve elektik çarpması veya yangınla sonuçlanabilir. Mümkün ise, eldiven kullanarak dokunulmamasına özen gösterilmeli: Çıplak el ile dokunulmamalı, insan eli kiri uzaklaştırılması en zor kirdir. Yağlı ortamlarda kullanılmamalı, yağlı eller ile dokunulmamalı. Patlayıcı maddelere yakın bir ortamda kullanılmamalı Ateş alabilir ve yangına sebep olabilir. 06.04.2017

CAUTION (DİKKAT-ÖZEN) Temizleme işleminde, zarar verecek veya cihazı çizebilecek, kimyasallar ve temizleme malzemeleri kullanılmamasına dikkat edilmeli. Cihazın kullanımı bittiğinde, üzerinin kapatılmasına dikkat edilmeli 06.04.2017

Isıtmak için, sadece Kimax veya Pyrex türü glassware’ ler kullanılmalı ISITMA GÜVENLİĞİ Sıcak cisimleri tutmak için maşa ve (tongs) ve/veya koruyucu eldivenler kullanılmalı Isıtmak için, sadece Kimax veya Pyrex türü glassware’ ler kullanılmalı Sadece, kuru galssware’ ler ısıtma için kullanılmalı Asla, sıcak glassware’ler ve hotplate’ler soğuyana kadar Lab. dan ayrılmamalı 06.04.2017

Kırık ve çatlak cam malzemeler (Glassware) kullanılmamalı CAM MALZEME GÜVENLİĞİ Kırık ve çatlak cam malzemeler (Glassware) kullanılmamalı Kırık glasswares, asla çöp kutusuna atılmamalı, (özel glassware atık container a konulmalı) Asla sıcak glassware’ ler sulu ortamlara veya su içerisine konmamalı, ani soğuma cam galssware’ leri kırar veya çatlatabilir. 06.04.2017

Kesikler ve zedelenmeler (cuts, bruises) İLK YARDIM Laboratuarda karşılaşılacak istenmeyen durumlar ve yapılması gereken ilk yardım öncelikleri Yanmalar (burns) Hemen, yanan kısım oldukça bol soğuk su içerisine konulmalı ve yanma hissi geçene kadar içerisinde tutulmalı Kesikler ve zedelenmeler (cuts, bruises) Açık yaralanmalara eldiven giyinmeden dokunulmamalı, üzerini birkaç dakika kapatmak küçük yaralanmaları kesecektir. Zedelenen kısımların üzerlerine soğuk baskı uygulamak şişme ve kabarmaları önleyecektir. 06.04.2017

Bayılmalar (faintings) İLK YARDIM Bayılmalar (faintings) Hemen temiz havaya çıkarılmalı ve başı vücudunun diğer kısımlarından aşağıya gelecek şekilde yatırılmalı. Göze zararlı malzeme kaçması (eyes) Hemen, eyes washes alanına gidilmeli ve göz birkaç dakika bol su ile yıkanmalı. Eğer yabancı cisim gözde kaldı ise göz asla ovalanmamalı ve gerekli tıbbi müda- hale yapılmalı Zehirlenmeler (poisonings) Zehirlenmeye sebep olan neden belirlenmeli ve gerekli tıbbi müdahale ve önlem alınmalı 06.04.2017

Ele ve deriye bir şeyler dökülmesi (spills on the skin) İLK YARDIM Ele ve deriye bir şeyler dökülmesi (spills on the skin) Oldukça bol miktarda bol su ile yıkanmalı Eğer asit dökülmesi ise: Soda çözeltisi ile dökülen yere uygulama yapınız. Eğer baz dökülmesi ise: Sirke yada borik asit ile dökülen yere uygulama yapınız. Elektrik şoku (electrical shock) 06.04.2017

SABRINIZ ve DİNLEDİĞİNİZ için TEŞEKKÜRLER 06.04.2017

Vücuda girişi (entry into the body) Nefes alma ile (inhalation) KİMYASAL ZARARLILAR Vücuda girişi (entry into the body) Nefes alma ile (inhalation) Deri yolu ile (dermal) Enjeksiyon (injection) Yutma (ingestion) Teknik ve sağlık ile ilgili bilgileri (MSDS) Material Safety Data Sheet (MSDS), de yer almalı ve en yakın bir yerde bulundurulmalı Saklanması (storage) Birbirleri ile uyuşmayan zararlılar bir arda bulundu-rulmamalı ve tümü etiketlenmeli 06.04.2017

Kullanma şartları (Conditions of use) KİMYASAL ZARARLILAR Kullanma şartları (Conditions of use) Nerede ve nasıl kullanılacaklarının bilinmesi Diğer kimyasallarla olan reaksiyonlarının bilinmesi Isıtılması, yanıcı özellikleri…bilinmesi Taşınması (transport) Sıçrama, dökülme ve transferi gibi özellikleri bilinmeli Tüm kimyasallar ikinci bir kap içerisinde taşınmalı Bütün kapakların kapalı olduğundan emin olunmalı Boşaltılması (Exhaust) Uçucu olup olmadıklarının, gaz ve buharlarının nereye gittiklerinin bilinmesi 06.04.2017

Yok edilmesi (disposal) KİMYASAL ZARARLILAR Yok edilmesi (disposal) Asit ve bazlar, wet bench lerde bol su ile atık suya gönderilebilir. Diğer tüm kimyasallar ve çözeltiler atık şişelerine transfer edilmelidir Atık şişeleri doğru bir şeklide etiketlenilmeli, şişeye ne kadar ve kim tarafından eklenildiği yazılmalı Nereye gittiklerinin bilinmesi 06.04.2017

D ( ) Y ( ) Laboratuarda elektrik güvenliği ihmal edilmemelidir. TEST D ( ) Y ( ) Laboratuarda elektrik güvenliği ihmal edilmemelidir. D ( ) Y ( ) Laboratuarların denetimleri önemli değildir D ( ) Y ( ) Laboratuarda yemek ve içmek kabul edilebilir. Laboratuarda Personal Protective Equipment (PPE) malzemelerinin temininden kimler sorumludur? MSDS ne demektir? D ( ) Y ( ) Laboratuarlardaki sistemler düzenli bakım gerektirmezler. Laboratuarlardaki kimyasal yanmalara karşı en etkin ilk yardım tedavisi nedir? D ( ) Y ( ) Laboratuarlardaki kimyasallar bir arada saklanmalıdır. 06.04.2017

MSDS de yer alan bilgilerden bazı nelerdir? TEST D ( ) Y ( ) Çeker ocaklar kimyasal malzeme depolamak için kullanılmalıdır MSDS de yer alan bilgilerden bazı nelerdir? PPE’ lerden bazılarının İngilizce isimlerini veriniz? D ( ) Y ( ) Laboratuarlardaki acil sistem duşlarını test ettirmeye gerek yoktur. D ( ) Y ( ) Laboratuarda acil durum oluştuğunda kendi acil eylem planının uygulamak en önemli metottur. Laboratuarda aşağıdakilerden hangisi giyilmelidir? a) Sandalet giyilmelidir. b) Açık topuklu ayakkabı giyilmelidir. c) Kapalı topuklu ayakkabı giyilmelidir. d) Ayakkabı giyilmemelidir 06.04.2017

Bir sıvı kimyasal koklanıldığı zaman, a) Derince teneffüs edilmelidir. TEST Bir sıvı kimyasal koklanıldığı zaman, a) Derince teneffüs edilmelidir. b) Çeker ocak kullanılmalıdır. c) Masaya dökülmelidir. d) Kendine doğru yaklaştırılarak buharı koklanmalıdır. Laboratuarda çalışırken kazaları önlemek için a) Diğer çalışanlara göre daha hızlı, çalışmak gereklidir. b) Yerine başkalarını çalıştırmak gereklidir. c) Kurallara uymak gereklidir. d) Kestirme yolları kullanmak gereklidir. Laboratuardaki yangını söndürmek için, a) Yangın söndürücünün nasıl kullanıldığını bilmek gereklidir. b) Yangın söndürücünün yerini bilmek gereklidir. c) Yangın battaniyesinin nasıl kullanılacağını bilmek gereklidir. d) Yukarıdakilerin hepsini bilmek gereklidir. 06.04.2017

Aşağıdakilerden hangi(leri) lab. güvenlik malzeme-lerinden sayılır? TEST Aşağıdakilerden hangi(leri) lab. güvenlik malzeme-lerinden sayılır? a) İlk yardım kiti b) Göz yıkama lavabosu c) Dökülen malzemeleri temizleme kiti d) Yukarıdakilerden hepsi Asit ve baz karışımı hazırlanırken doğru yöntem aşağıdakilerden hangisidir? a) Asiti, çok miktarda su içerisine eklemek b) Suyu, çok miktarda asit içerisine eklemek c) Asiti, soğuk, girdap gibi dönen su içerisine eklemek d) Her ikisini de beher içerisine birlikte dökmek D ( ) Y ( ) Laboratuardaki tüm kimyasalların tehlikeli olduğu düşünülmelidir? 06.04.2017

SIKÇA KULLANILAN ASİT ve BAZLAR İnsan Sağlığına Zararlı Kimyasallar  Ağır metaller                                 Hidrojen peroksit  Aromatik nitro bileşikleri                Hidrojen sülfit  Aldehitler                                      Hidrojen syanid  Alkali metaller                                İnorganik amidler Alkali tuzları (NaOH, KOH)             Karbon disülfür Amonyak                                      Karbon tetraklorür  Benzen                                      Klorlu hidrokarbonlar  Civa                                      Ksilen  Eterler                                      Metil alkol  Fenoller                                      Nitrat ve nitritler  Florlu hidrokarbonlar                     Nitrik asit  Formaldehit                                   Okzalik asit  Fosfor                                      Perkloratlar  Halojenler                                      Toluen 06.04.2017

SIKÇA KULLANILAN ASİT ve BAZLAR Asetik asit Daha kuvvetli asitlerle birlikte temizleme ve etch etme için kullanılır. Seyreltik çözeltisi film banyosunda kullanılır. Göz, deri ve burun içi mukoza zarı tahribi ve ayrıca yanmalara sebep olur. Hidroklorik asit (HCl) Si waferları ve fırın tüplerini temizlemek için kullanılır. Göz, deri ve burun içi mukoza zarı tahribi ve ayrıca yanmalara sebep olur, akciğerde kan toplanmasına ve zararına sebep olur. Nitrik asit (HNO3) Waferları etch etmek ve temizlemek için kullanılır. Solunum siteminde yanma, göz, deri ve burun içi mukoza zarında yanmalara sebep olur. 06.04.2017

SIKÇA KULLANILAN ASİT ve BAZLAR Hidroflorik asit (HF) Si yüzeylerinin temizlenmesinde ve Si ile SiO2’ in etch edilmesinde kullanılır. Kokusuz, renksiz ve su görünümlüdür HF, dokularda oldukça kolay çözülebilir ve vücudun her tarafında taşınır. H+, aşındırıcı tarzda yanmalara sebep olur. F-, derin doku zararlarına, kemiklerde erozyona sebep olur. 7 mL saf HF, bir erişkin insandaki tüm Ca’ u bitirir. Kalp krizine sebep olur. Acılar 24 saat gecikebilir. Yüksek konsantrasyonlu HF cama attack eder. Plastik kaplar kullanılmalıdır. HF ile temas eden bölge Calcium Glouconate jel ile pansuman edilmelidir. 06.04.2017

SIKÇA KULLANILAN ASİT ve BAZLAR Sülfürik asit H2O2 ile birlikte wafer temizleme, etch ve soyma için kullanılır. Eğer nefesle alınırsa, muhtemelen öldürücüdür. Deri ve göz yanmalarına, burun içi mukoza zarı tahribine ve şiddetli solunum yolu rahatsızlıklarına sebep olur. Potasyum hidroksit (KOH) Si, SiC, GaN gibi waferları etch etmek için kullanılır. Göz ve deride şiddetli yanmalara, ayrıca göz, deri, burun, boğaz ve akciğerlerde tahrişe sebep olur. Sodyum hidroksit (NaOH) Si waferları etch etmek için kullanılır. Göz ve deride şiddetli yanmalara, ayrıca göz, deri, burun, boğaz ve akciğerlerde şiddetli tahrişe sebep olur. 06.04.2017

SIKÇA KULLANILAN ÇÖZÜCÜLER Aseton Temizleme ve PR uzaklaştırmasında kullanılır. Renksiz, tatlı bir kokusu ile son derece yanıcıdır. Asla yüksek sıcaklıklarda ısıtılarak kullanılmamalıdır. Göz, ve çok kullanımı, deri tahrişine sebep olur. İzopropil Alkol Si waferları ve fırın tüplerini temizlemek için kullanılır. Renksiz sıvı ve gaz halinde bulunur. Göz ve deri tahrişine sebep olur. Oldukça rahatsız edici bir kokusu vardır. Metanol Genel amacı, çözeltileri temizlemek için kullanılır. Renksizdir. Yanıcıdır. Göz ve deri tahrişine sebep olur. Deri tarafından kolayca absorbe edilir. 06.04.2017

SIKÇA KULLANILAN ÇÖZÜCÜLER Trikloroethan Oksitlenme fırın tüplerindeki klorini uzaklaştırmak için kullanılır. Sıvı ve tatlı bir kokusu vardır. Yüksek sıcaklıklarda yanıcı özelliği vardır. Solunum yolu, göz, ve deri tahrişine, merkezi inir sistemi depresyonuna ve kanser tehlikesine sebep olur. Hidrojen Peroksit (Oxidizer) Oxidizer: Diğer malzemelerle tutuşma ve yanmaları başlatan yada teşvik eden, kendi başlarına yada oksijenin salınıvermesi ile yangınlara sebep olan kimyasallardır. Wafer temizleme çözeltisi olarak kullanılır. Renksizdir. Göz ve deride kimyasal yanmalara ve tahrişine sebep olur. 06.04.2017

SIKÇA KULLANILAN GAZLAR Amonyum (NH3) Si ile reaksiyona girerek Si3N4 oluşmasını sağlar. Renksiz, kuvvetlice alkaline ve son derece çözülebilen ve keskin kulu bir gazdır. Forming gaz N2 ve H2 (yüzdelik olarak %10 a kadar) gazının karışımı olan bir gazdır. Waferların sinterizasyonunda (toz halindeki malzemenin erime sıcaklığı altındaki bir sıcaklığa belli bir süre maruz bırakılarak tozların birbirlerine değdikleri noktalardan başlayarak kaynaşmasına denir.) kullanılır. Ayrıca, termal tavlama sırasında ortam gazı olarak kullanılır. Yanıcıdır. 06.04.2017

SIKÇA KULLANILAN GAZLAR Silane (SiH4) Epitaksiyel, amorf ve poli-Si kristallerinin büyütülmesinde, ayrıca N2 ve NH3 ile reaksiyona girerek Si3N4 oluşmasını sağlar. Pyrophoric (havada kendiliğinden tutuşan, sürtünme sonucu kıvılcımlara sebep olan) gaz olup, kötü bir kokusu vardır. Dichlorosilane (SiH2Cl2) N2 ve NH3 ile reaksiyona girerek Si3N4 oluşmasını sağlar. Sülfür Hekzafloride (SH6) Poli-Si ve Si3N4’ ın RIE sisteminde plazma ortamında etch edilmesinde kullanılır. Ar, N2, O2… Sputtering işlemlerinde, çeşitli tavlamalarda ortam gazı olarak, numune kurulamalarında, …kullanılır. 06.04.2017