İleri Elektronik Uygulamaları Hata Analizi Tuba KIYAN 13.04.2017

Pul (Wafer) eski 45 nm teknoloji Si pul eski yeni yeni 13.04.2017

Hata Analizi Her üretilen çip teste tabii tutulur. Buna üretim testi denir ve üretim prosesinin kritik bir aşamasıdır. Çalışan çiplerin çalışmayanlardan ayrılması lazım. Hata analizi, hatanın nedenini belirlemek için data toplama ve analiz etme işlemine denir. Üretimde özellikle elektronik endüstrisinde yeni ürünlerin geliştirilmesi ve mevcut ürünlerin iyileştirilmesi açısından önemli bir disiplindir. Hatalar ikiye ayrılabilir: Prosesden kaynaklanan hatalar: Açık devre, kısa devre, eşik gerilimindeki oynamalar vb. Tasarımdan kaynaklanan hatalar 13.04.2017

Prob İstasyonu (Probe Station) Mikroskop görüntüsü 13.04.2017

Parametre Analizatörü (Parameter Analyser) 13.04.2017

Dijital Osiloskop Zaman domeni Örnekleme hızı Band genişliği Giriş sayısı Giriş direnci BNC veya SMA? 13.04.2017

Spektrum Analizatörü (Spectrum Analyser) Frekans domeni Harmonikler Band genişliği 13.04.2017

Otomatik Test Ekipmanı (Automatic Test Equipment-ATE) Maximum frekans 1-2 milyon dolar Mainframe, testhead, soğutma ünitesi ve workstation Mainframe Testhead 13.04.2017

kılıflanmış entegre devre ya da pul Test DC test: Kontak testi, sızıntı akımı vb. AC test: kapı gecikmeleri, jitter. Karşılaştır kılıflanmış entegre devre ya da pul Giriş işareti Beklenen Çıkış Bozuk/Çalışıyor 13.04.2017

Pul Testi 13.04.2017

Hataların lokalizasyonu Bazı yöntemler kullanılarak hatanın nedeni ve yeri bulunmaya çalışılır. Atomic Force Microscope (AFM) Photon Emission Microscope (PEM) Scanning Electron Microscopy (SEM) Laser Scanning Microscope (LSM) Devre Modifikasyonu – Focused Ion Beam (FIB) 13.04.2017

Lazer Tarama Mikroskopu - Laser Scanning Microscope – LSM Photon Emission Microscopy – Foton Emisyonu Mikroskopu - PEM 13.04.2017

LSM Deney Düzeneği 13.04.2017

İki farklı lazer diyot  İki farklı etki 1.064 m  Elektron-delik çiftleri oluşumu 1.3 mSıcaklık değişimi Metal TRI Yarıiletken TRI 13.04.2017

PEM Deney Düzeneği x0.8 x5 input ATE CCD Camera Optical Microscope Light Source Pulse Generator DUT Power Supply x25 x100 13.04.2017

Atomik Kuvvet Mikroskobu (Atomic Force Microscope -AFM) AFM, bir ince iğne ve taşıyıcı uçtan oluşur. İğne ve taşıyıcı uç bir yüzeyi tararken yüzey ile iğne arasında oluşan interatomik kuvvet iğnenin hareket etmesine veya taşıyıcı ucun eğilmesine neden olur. Bir laser ışını taşıyıcı uca gönderilir. Lazer ışının yansıması ile transmisyonu arasındaki farktan taşıyıcı ucun oryantasyonu hesaplanır. 13.04.2017

SEM SEM bir elektron mikroskobudur. Yüksek enerjili elektronlar ile görüntülenecek olan yüzey taranır. Elektronlar yüzeydeki atomlarla etkileşirler. İkincil (secondary-SE) e- lar kullanılarak yüzey topografisi elde edilir. Geri yansıyan elektronlar kullanılarak 13.04.2017

SEM (II) İkincil (secondary-SE) elektronlar kullanılarak yüzey topografisi elde edilir. Elektronların geliş açısına dik olan yüzeyler daha koyu gözükür. Çözünürlük0.5 nanometre Geri yansıyan elektronlar (backscattered electrons) kullanılarak farklı kimyasal maddeler tespit edilir. Ağır elementlerden elektronlar daha güçlü yansıyacağı için daha parlak gözükür. BSE SE 13.04.2017

FIB (Focused Ion Beam) Ga+ iyon kaynağı Tozutma ile materyal ortadan kaldırma Kimyasal olarak materyal depozisyonu veya aşındırması 13.04.2017