Sunum yükleniyor. Lütfen bekleyiniz

Sunum yükleniyor. Lütfen bekleyiniz

İyon Işını İle İşleme Doç.Dr. Fehmi ERZİNCANLI Tasarım ve İmalat Mühendisliği Bölümü 2007 İLERİ İMALAT METOTLARI.

Benzer bir sunumlar


... konulu sunumlar: "İyon Işını İle İşleme Doç.Dr. Fehmi ERZİNCANLI Tasarım ve İmalat Mühendisliği Bölümü 2007 İLERİ İMALAT METOTLARI."— Sunum transkripti:

1 İyon Işını İle İşleme Doç.Dr. Fehmi ERZİNCANLI Tasarım ve İmalat Mühendisliği Bölümü 2007 İLERİ İMALAT METOTLARI

2 İyon Işını İşleme Sistemi İyon Işını Makinası üç temel parçadan oluşmakta;  İyon oluşturan plazama kaynağı  Plazmadan iyonların çıkışını sağlayan kafes  Parçayı tutan tabla

3 İyon Işını İşleme Sistemi

4

5 Örnekler

6 İyon Işını İşleme Sistemi Katot olarak görev yapan, ısıtılan Eleman; tungten Yüksek voltajla elektronlar anoda doğru hareketlendirilir Voltaj 1 kV üzerindeir

7 İyon Işını İşleme Sistemi Elektronlar katottan anoda doğru giderken, bu atomlar argon atomlarıyla birleşirler Aşağdaki gibi Ar iyonu oluşur

8 İyon Işını İşleme Sistemi  Manyetik alan elektronların dönüşünü sağlar ve iyonlaşmayı hızlandırı

9 İyon Yönlendirme Eleği  Plazma da oluşan iyonların yön almasını iyon yönlendirme eleği sağlar  Karbondan veya molibden den ince delikli olarak imal edilmiştir  Elektron bombardımanına dayanıklıdır

10

11 Parçaları

12 Çarpışma Mekanizması  İyonlar ile atomların büyüklüğü karşılaştırılabilir  Bir iyonun bir yüzeye çarpması durumunda orada bir atomla karşılaşır  Bu çarpışma genelde yüzeye normal olur

13 Çarpışma Mekanizması  Eğer iyonun kütlesi atomun kütlesinden küçük ise iyon geriye döner  Fakat atom içeriye doğru gömülür

14 Çarpışma Mekanizması

15  Eğer çarpan iyonun kütlesi yüzeydeki atomun kütlesinden büyükse  İyon ve atom içeriye doğru gömülür  Bu tür çarpışma atomların uzaklaşmasını sağlayamaz


"İyon Işını İle İşleme Doç.Dr. Fehmi ERZİNCANLI Tasarım ve İmalat Mühendisliği Bölümü 2007 İLERİ İMALAT METOTLARI." indir ppt

Benzer bir sunumlar


Google Reklamları