Doç.Dr. Fehmi ERZİNCANLI Tasarım ve İmalat Mühendisliği Bölümü 2007

... konulu sunumlar: "Doç.Dr. Fehmi ERZİNCANLI Tasarım ve İmalat Mühendisliği Bölümü 2007"— Sunum transkripti:

1 Doç.Dr. Fehmi ERZİNCANLI Tasarım ve İmalat Mühendisliği Bölümü 2007
İyon Işını İle İşleme İLERİ İMALAT METOTLARI Doç.Dr. Fehmi ERZİNCANLI Tasarım ve İmalat Mühendisliği Bölümü 2007

2 İyon Işını İşleme Sistemi
İyon Işını Makinası üç temel parçadan oluşmakta; İyon oluşturan plazama kaynağı Plazmadan iyonların çıkışını sağlayan kafes Parçayı tutan tabla

3 İyon Işını İşleme Sistemi

4 İyon Işını İşleme Sistemi

5 Örnekler

6 İyon Işını İşleme Sistemi
Katot olarak görev yapan, ısıtılan Eleman; tungten Yüksek voltajla elektronlar anoda doğru hareketlendirilir Voltaj 1 kV üzerindeir

7 İyon Işını İşleme Sistemi
Elektronlar katottan anoda doğru giderken, bu atomlar argon atomlarıyla birleşirler Aşağdaki gibi Ar iyonu oluşur

8 İyon Işını İşleme Sistemi
Manyetik alan elektronların dönüşünü sağlar ve iyonlaşmayı hızlandırı

9 İyon Yönlendirme Eleği
Plazma da oluşan iyonların yön almasını iyon yönlendirme eleği sağlar Karbondan veya molibden den ince delikli olarak imal edilmiştir Elektron bombardımanına dayanıklıdır

10

11 Parçaları

12 Çarpışma Mekanizması İyonlar ile atomların büyüklüğü karşılaştırılabilir Bir iyonun bir yüzeye çarpması durumunda orada bir atomla karşılaşır Bu çarpışma genelde yüzeye normal olur

13 Çarpışma Mekanizması Eğer iyonun kütlesi atomun kütlesinden küçük ise iyon geriye döner Fakat atom içeriye doğru gömülür

14 Çarpışma Mekanizması

15 Çarpışma Mekanizması Eğer çarpan iyonun kütlesi yüzeydeki atomun kütlesinden büyükse İyon ve atom içeriye doğru gömülür Bu tür çarpışma atomların uzaklaşmasını sağlayamaz