Prof. Dr. ERGUN GÜLTEKİN İSTANBUL ÜNİVERSİTESİ VAKUM TEKNOLOJİSİ Prof. Dr. ERGUN GÜLTEKİN İSTANBUL ÜNİVERSİTESİ Eylül, 2013 Bodrum - TÜRKİYE
Uluslar arası tanıma göre Vakum : Basıncı “Atmosferik Basıncın” altında olan gazların doldurduğu kapalı bir ortam olarak tarif edilmiştir. Vakum ölçer Vana Vakum ortamı Deney Kabı Vakum pompası Atmosfer Gaz
1 Atm ≈ 1019 mol/cm3 Hedef
1 Atm. 1/106 Atm. Vakum Pompası
Ortalama Serbest Yol
Pressure (torr) Molekül Yoğunluğu (mol.cm-3) Ortalama Serbest Yol (cm) 760 2.5x1019 6.5x10-6 1 3.3x1016 5x10-3 10-3 3.3x1013 5x100 10-6 3.3x1010 5x103 10-9 3.3x107 5x106 10-12 3.3x104 5x109 Tablo 1
PV=NkT Denklemdeki;
Basınç : Pascal Pa= N/m2 1bar=750 mmHg , 1atm=760mm Hg 1 bar= 105 Pa, 1 mbar = 100 Pa, 1 Torr = 133 Pa ,. 1 Torr=1 mm Hg , 1 Torr=1/760 mm Hg Vakum çalışmalarında birim olarak Torr veya Pascal kullanılır
Değerlerine göre Vakum sınıflandırılması Düşük vakum 750 torr- 1 torr Orta vakum 1 torr- 10-3 torr Yüksek vakum 10-3 torr-10-6 torr Çok yüksek vakum 10-6 torr-10-9 torr İleri yüksek vakum 10-9 torr 10-12 torr Çok ileri yüksek vakum 10-12torr-10-16 torr
Mekanik Vakum Pompası
Mekanik Vakum Pompası
Difüzyon Pompası
Pirani Vakum Ölçer ve Başlığı
Vakum Bağlantı Elemanları
Kompakt Küçük Bir Vakum Sistemi
Farklı Boyutlarda Üç Turbomoleküler Vakum Pompası
LHC deki vakum sistemlerinden bir tanesi