Prof. Dr. ERGUN GÜLTEKİN İSTANBUL ÜNİVERSİTESİ

... konulu sunumlar: "Prof. Dr. ERGUN GÜLTEKİN İSTANBUL ÜNİVERSİTESİ"— Sunum transkripti:

1 Prof. Dr. ERGUN GÜLTEKİN İSTANBUL ÜNİVERSİTESİ
VAKUM TEKNOLOJİSİ Prof. Dr. ERGUN GÜLTEKİN İSTANBUL ÜNİVERSİTESİ Eylül, 2013 Bodrum - TÜRKİYE

2 Uluslar arası tanıma göre Vakum :
Basıncı “Atmosferik Basıncın” altında olan gazların doldurduğu kapalı bir ortam olarak tarif edilmiştir. Vakum ölçer Vana Vakum ortamı Deney Kabı Vakum pompası Atmosfer Gaz

3 1 Atm ≈ 1019 mol/cm3 Hedef

4 1 Atm. 1/106 Atm. Vakum Pompası

5 Ortalama Serbest Yol

6 Pressure (torr) Molekül Yoğunluğu (mol.cm-3) Ortalama Serbest Yol (cm) 760 2.5x1019 6.5x10-6 1 3.3x1016 5x10-3 10-3 3.3x1013 5x100 10-6 3.3x1010 5x103 10-9 3.3x107 5x106 10-12 3.3x104 5x109 Tablo 1

7

8 PV=NkT Denklemdeki;

9

10

11

12

13

14 Basınç : Pascal Pa= N/m2 1bar=750 mmHg , atm=760mm Hg 1 bar= 105 Pa, mbar = 100 Pa, 1 Torr = 133 Pa ,. 1 Torr=1 mm Hg , 1 Torr=1/760 mm Hg Vakum çalışmalarında birim olarak Torr veya Pascal kullanılır

15 Değerlerine göre Vakum sınıflandırılması
Düşük vakum torr- 1 torr Orta vakum torr torr Yüksek vakum torr-10-6 torr Çok yüksek vakum torr-10-9 torr İleri yüksek vakum torr torr Çok ileri yüksek vakum torr torr

16

17 Mekanik Vakum Pompası

18 Mekanik Vakum Pompası

19 Difüzyon Pompası

20 Pirani Vakum Ölçer ve Başlığı

21 Vakum Bağlantı Elemanları

22 Kompakt Küçük Bir Vakum Sistemi

23 Farklı Boyutlarda Üç Turbomoleküler Vakum Pompası

24 LHC deki vakum sistemlerinden bir tanesi