Sunum yükleniyor. Lütfen bekleyiniz

Sunum yükleniyor. Lütfen bekleyiniz

Türkiye’de Yeni Bir Teknoloji: MEMS Prof. Dr. Tayfun AKIN ODTÜ-MEMS Merkez Müdürü ODTÜ Elektrik-Elektronik Müh. Böl. Öğretim Üyesi www.eee.metu.edu.tr/~tayfuna.

Benzer bir sunumlar


... konulu sunumlar: "Türkiye’de Yeni Bir Teknoloji: MEMS Prof. Dr. Tayfun AKIN ODTÜ-MEMS Merkez Müdürü ODTÜ Elektrik-Elektronik Müh. Böl. Öğretim Üyesi www.eee.metu.edu.tr/~tayfuna."— Sunum transkripti:

1 Türkiye’de Yeni Bir Teknoloji: MEMS Prof. Dr. Tayfun AKIN ODTÜ-MEMS Merkez Müdürü ODTÜ Elektrik-Elektronik Müh. Böl. Öğretim Üyesi

2 Kısa Özgeçmiş u Van doğumlu u 1987 ODTÜ Elektrik-Elektronik Müh. Böl., Lisans u 1989 University of Michigan, Y. Lisans u 1994 University of Michigan, Ph. D. u 1995 ODTÜ Elektrik-Elektronik Müh. Böl., Katılım u 2004 ODTÜ Elektrik-Elektronik Müh. Böl., Profesör u 1998 ODTÜ-MET Teknik Koordinatörü u 2006 Uluslararası MEMS Konferansı Eş-Başkanı u 2008 ODTÜ-MEMS Merkez Müdürü u 2008 Mikro-Tasarım Ltd. Şti. Kurucusu ve Müdürü

3 MEMS (Mikro-Elektro-Mekanik Sistemler) + Mikromekanik Mikroelektronik = MEMS Entegre İvmeölçer

4

5 MEMS’in Avantajları u Gelişmiş mikroelektronik teknolojisi u Seri üretim (entegre devre gibi) u Çok ucuz u Küçük, hafif u Elektronik devre ile beraber u Birçok uygulama alanı u Askeri u Sivil Sensör Elektronik Devre

6

7 Mevcut JiroskopMEMS Jiroskop Ağırlık : gram 10 gram Büyüklük : 15 cm x 8 cm x 5 cm 2 cm x 2 cm x 2 cm Güç : 35 W ~1 mW Dayanıklılık : 35 g 100K g Fiyat : $20,000 $500 ($5, $0.5) Inertial Measurement Unit MEMS’in Potansiyeline Örnek (Dönüölçer veya Jiroskop) *A.B.D. Savunma Bakanlığı’nın MEMS üzerine hazırladığı rapordan alınmıştır. *Bu rapor adresinden temin edilebilir. Performans aynı değil

8 Dönüölçer Teknoloji Beklentileri

9 ODTÜ’de MEMS Deneyimi u Uluslararası Projeler u TU-MICROSYSTEMS, NATO-SfS (TÜBİTAK) u US-Turkey Collaboration, NSF u EU FP6 (RF MEMS, AMICOM) u COST (RF MEMS) (PI: Dr. Çivi) u Endüstri Destekli Projeler u Soğutmasız Kızılötesi Dedektör, ASELSAN u Basınç Duyargası, ARÇELİK u Hükümet Destekli Projeler u Soğutmasız Kızılötesi Dedektör ve Dönüölçer, MSB-ArGe (Kobra1) u Soğutmasız Kızılötesi Dedektör ve Dönüölçer, MSB-ArGe (Kobra2) u Dönüölçer, TÜBİTAK u Endüstriyel MEMS, DPT u RF MEMS, TÜBİTAK (PI: Dr. Koç) u RF MEMS, DPT (PI: Dr. Çivi) 1995’den beri süren çalışmalar

10 MEMS Çalışmalarına Katkılar ( ) Toplam: 10 Milyon A.B.D. Doları DPT MSB ArGe

11 Savunma sanayii için yeni projeler u TÜBİTAK Destekli MSB ArGe Projeleri u Proje 1 u ASELSAN VE TÜBİTAK-SAGE ile birlikte u Proje 2 u ASELSAN ile birlikte u SSM Destekli Proje u Proje 3 u ASELSAN’nın yüklenici olduğu HEWS projesinin alt projesi

12 MEMS Çalışmalarına Katkılar ( ) Toplam: >40 Milyon A.B.D. Doları TÜBİTAK-MSB SSM DPT MSB ArGe

13 ODTÜ’de Mevcut MEMS Altyapısı 1300m 2, 0.35  m 4”, 6” ve 8” (?) çaplı silisyum disk işleme

14 Üzerinde Yoğunlaşılan Spesifik Konular u Soğutmasız Kızılötesi Detektörler u İvmeölçer ve Dönüölçerler u RF MEMS Aygıtlar ve Sistemler u BiyoMEMS u Kanser Hücre Taraması u Biyoteröre Karşı Algılayıcı Sistemler u MEMS Enerji Üreteçleri

15 Mikroişlenmiş Jiroskop (Dönüölçer) Kullanım Alanları * Systron-Donner’ın web sayfasından alınmıştır

16 ODTÜ’de Geliştirilen Yeni Dönüölçer Yapısı -Avrupa’daki Bir Yarışmada Birincilik Ödülü Aldı -ABD’deki Bir Yarışmada Üçüncülük Ödülü Aldı (24 ülkeden 134 tasarım arasından) Simetrik/Etkileşimsiz Dönüölçer

17 2m2m 2m2m Silisyum taban Yurtdışında Üretim (MSB ArGe KOBRA-I Projesi) MCNC/Cronos (ABD) standard polisilisyum süreci Kalınlık=2  m Algılama kapasitansı  10fF Parazitik kapasitans=3pF Üretim periyodu=4 ay Yaklaşık hassasiyet=3.7  /sn

18 5-15  m 2-4  m Cam taban Yurtiçinde Üretim-1 (MSB ArGe KOBRA-I Projesi) ODTÜ’de kurulan nikel elektrokaplama süreci Kalınlık=6-16  m Algılama kapasitansı>50fF Parazitik kapasitans<30fF Üretim periyodu=1 hafta Yaklaşık hassasiyet=0.2  /sn

19  m 4-5  m Cam taban İleri Silisyum Mikroişleme ile Dönüölçerler ODTÜ-MET’e DPT Desteği ile Yeni Alınan Derin Reaktif İyon Aşındırma (DRIE) Cihazının Kabiliyetleri

20 Pul-Mertebesinde Paketlenmiş MEMS Dönüölçer Duyargaları

21 Soğutmasız Kızılötesi Dedektörler ü 77 K sıcaklığına soğutmaya gerek yok ü Oda sıcaklığında çalışabilir (TE soğutucu ile) û Performans artırılmalı ü Fiyat çok düşük ü Uzun süreler çalışabiliyor ü Küçük alan kaplıyor ü Elektronik okuma ile beraber üretilebiliyor

22 CMOS ile Düşük Maliyetli Kızılötesi Dedektörler 16x16 FPA

23 Yeni 128x128 Soğutmasız Kızılötesi Dedektör Dizini  Piksel başına birden fazla diyot  Daha basit bir üretim yöntemi  İlk görüntüler alındı  Patent başvurusu yapılacak

24 ODTÜ’de Geliştirilen Başka Bir Soğutmasız Dedektörden İlk Görüntüler

25 RF MEMS Çalışmaları Destek: TÜBİTAK, DPT, FP6, SSM MEMS Phase Shifter MEMS Switch MEMS Phase Shifter

26 RF MEMS Faz Dizili Anten

27 Işınım Örüntüsü 4  beam steering 14  beam steering 6  beam steering

28 Harvard Üniversitesi Kanser Hücresi Tarama Çipleri

29 Güç Üretim Çipleri Çevresel sarsıntıyı elektrik enerjisine çevirmek Düşük sarsıntı frekansları mikrowatt güç üretimi

30

31 Hyannis, U.S.A. Salt Lake City, U.S.A. Napa Valley, U.S.A. Nara, Japan Travemünde, Germany Fort Lauderdale, U.S.A. Oiso, Japan Amsterdam, Netherlands San Diego, U.S.A. Nagoya, Japan Heidelberg, Germany Orlando, U.S.A. Miyazaki, Japan Interlaken, Switzerland Las Vegas, U.S.A. Kyoto, Japan Maastricht, Netherlands Miami, USA YerYıl MEMS Konferansları Istanbul, Turkey Kobe, Japan Amerika Kıtası 8 A.B.D. Asya Kıtası 6 Japonya Avrupa Kıtası 2 Almanya 2 Hollanda 1 İsviçre 1 Türkiye

32 Mevcut Altyapı ile Kısmen Hizmet Verilen Kurumlar Koç Üniversitesi Bilkent Üniversitesi Fizik Böl., Elektrik-Elektronik Müh. Böl. TÜBİTAK UEKAE Gebze Yüksek Teknoloji Enstitüsü Kimya Müh. Böl., Fizik Böl. ASELSAN MGEO, REHİST (MST) ROKETSAN Nanomanyetik Ltd. Ankara Üniversitesi ODTÜ Kimya Müh., Havacılık, Fizik ODTÜ-MEMS Mükemmeliyet Merkezi

33 Uluslararası İşbirlikleri Harvard Üniversitesi MIT Arizona Devlet Üniversitesi Yale Üniversitesi Michigan Üniversitesi IMEC, Belçika

34 Uluslararası İşbirlikleri – AMICOM FP6 Projesi Ortakları 1aCNRS-LAAS, Fransa9ITME, Polonya19ITC-IRST, İtalya 1bCNRS-IEMN, Fransa10VTT, Finlandiya20Armines, Fransa 1cCNRS-IRCOM, Fransa11PERUGIA, İtalya21METU, Türkiye 2Chalmers, İsveç12TECHNION, İsrail22aFHG-IZM, Almanya 3Cranfield, İngiltere13TEI-C, Yunanistan22bFHG-ISIT, Almanya 4EPFL, İsviçre14TUD, Almanya23KUL, Belçika 5FORTH, Yunanistan15TUM, Almanya24CEA, Fransa 6IMEC, Belçika16ULM, Almanya25DIMES (Delft), Hollanda 7Imperial College, İngiltere17Uppsala, İsveç 8IMT, Romanya18NKUA, Yunanistan

35 Standart RF MEMS Üretim Süreci

36 Standart RF MEMS Üretim Süreci İle Diğer Kurumlara Servis (Multi-Project Wafer (MPW))

37 Standart Mikroresonatör Üretim Süreci

38 Standart Mikrokanal Üretim Süreci

39 Mesajlarım MEMS önemli, dual-use Önemli bir bilgi birikimi ve altyapımız var Yaptığımız çalışmalar sanayileşmeli ArGe daha kolay yapılabilmeli Mevzuatı değiştirme cesaretimiz ve azmimiz olmalı (satınalma, gümrük) İhale ile ArGe yapılmamalı Aynı gemideyiz, toplam resim görülmeli, bir masa etrafında toplanılabilmeli Kriz bizim için fırsattır, bu dönemde ArGe’ye daha fazla destek verilmeli


"Türkiye’de Yeni Bir Teknoloji: MEMS Prof. Dr. Tayfun AKIN ODTÜ-MEMS Merkez Müdürü ODTÜ Elektrik-Elektronik Müh. Böl. Öğretim Üyesi www.eee.metu.edu.tr/~tayfuna." indir ppt

Benzer bir sunumlar


Google Reklamları